光谱共焦位移传感器DIS3000
光谱共焦位移传感器DIS3000由光源射出一束宽光谱的复色光,通过色散镜头形成不同波长的单色光,每一个波长对应一个到被测物体的距离值,测量光射到物体表面被反射,满足共焦条件的单色光通过小孔被光谱仪采集,通过计算被采集的波长,获得距离值。超强的测量能力可稳定测量任何材质及任何光洁度表面,不受任何环境光的影响。可测量位移(高度、厚度等)、腔体(台阶高度、液位、狭缝底部胶水)、平面度等;可以高精度稳定测量透明体的厚度,并同时测量不同层面的位置值,颠覆传统的三角激光测距法。
主要特点 |
应用领域 |
● 小型化:多台传感器并行测量 |
● 半导体生产及检测设备 |
● 快速启动:传感器不受材质影响 |
● 汽车生产及检测设备 |
● 方向自由:任意方向检测,边移动边检测 |
● 元器件生产检测 |
● 安全可靠:以LED波长色检测,无需使用激光 |
● 高度计 |
● 稳定性好:色散镜头采用无热化补偿设计 |
● 厚度计 |
技术规格书
型号 |
DIS3000 |
量程 |
3000um |
工作距 |
17mm |
重复性 |
0.5um |
光纤长度 |
1m(可定制1~10m) |
光点直径 |
8um |
采样频率 |
10KHz |
工作温度: |
+10~+50℃ |
允许安装倾斜 |
30° |
最小可测量厚度 |
100um |
长度 |
113mm |
直径 |
46mm |
Tips :色散镜头选配(量程):1mm、2mm、3mm、6mm,可根据需求进行定制
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