南京先进激光技术研究院（江苏省产业技术研究院先进激光技术研究所）欢迎您！
首页
DMD数字掩模光刻机 LTG-DMD
LTG-DMD数字掩模光刻机无需制造掩模板，采用DMD数字芯片掩模可在样品表面曝光通过计算机编辑的任意图案。结合精密的电控位移台，可以实现自动调平、自动对焦、多图拼接等功能。
|
主要特点 |
应用领域 |
|
● 无需样本制备 |
● 中小规模集成电路 |
|
● 非接触式测量 |
● 光电子器件 |
|
● 实时检测、无需等待 |
● 液晶微纳光学 |
|
● 多元素分析 |
● 偏振防伪 |
|
● 定制开发 |
● 半导体元器件 |
技术规格书
|
曝光光源 |
405nm or 365nm LED |
|
曝光不均匀性 |
<5% |
|
最大样品尺寸 |
20x20mm |
|
单幅曝光尺寸 |
0.095英寸（10X镜头） |
|
最小分辨率 |
2um（10X镜头） |
|
镜头倍率 |
2X、5X、10X |
|
自动对焦精度 |
1um |
|
自动调平精度 |
10' |
|
可选功能 |
偏振态控制 |
|
偏振对比度 |
>10000:1 |
|
线偏方向角精度 |
0.2° |
|
外观尺寸 |
800x550x680mm |
联系方式：025-68037576 15366004857
加入我们 
在线客服 
联系地址
南京经济技术开发区恒园路1号
龙港科技园A楼 (邮编：210038)
联系电话
人事管理：025-68037586
商务洽谈：025-68037528
南京先进激光技术研究院将秉承“科技创新，产业报国”的发展理念，重点围绕激光应用装备、激光显示、激光检测仪器、激光加工、激光与光电子材料等领域，打造国际一流的激光产业技术研究院，成为激光产业界的创新引擎，为我国激光领域的科技创新和产业结构转型升级提供强有力的科技支撑。
©南京先进激光技术研究院 苏ICP备15017198号-1 网站建设：中企动力 南京